晶圆测试基础知识（晶圆的测试方法与流程）

8寸晶圆的外观检验流程

然后当芯片根据晶颗粒体为单位切成单独的晶颗粒体时，标着标记的不过关晶颗粒体会被淘汰，不会再开展下一个制造，以减少不比较的制造成本。在晶圆制造完成以后，晶圆检测是一步十分关键的检测。

寸晶圆显微镜检测系统通过机械手将晶圆从片盒取出放在真空吸附托盘上，通过滑鼠或操作按键改变晶圆的转向以初步检查。显微镜平台可进行精密检测，能够观察晶圆微观的颗粒，划伤，污染等情况。

如果你是要检测晶圆上的电路图案，奥斯巴林的MX63/MX63L工业显微镜就可以。

裂解：通过特定工艺，对硅片进行裂解或分割，将大尺寸硅片切割成更小的硅片或晶圆，以供后续器件制备使用。 清洗和检验：对硅片进行清洗，去除残留的杂质和污染物。进行质量检验，确保硅片的质量和性能符合要求。

根据查询金誉半导体显示，flat晶圆的尺寸分别是6寸、8寸、12寸。

晶圆检测显微镜都有哪些?各有什么特点?

1、另外，这款工业显微镜成像清晰，有利于检测者获得准确的数据和图像。当然如果是测量晶圆的激光沟槽轮廓的话，有奥斯巴林的激光共聚焦显微镜，所以最终还是看检测内容。

2、MX63和MX63L能应对大尺寸样品，不管是电路板还是300毫米的晶圆，都信手拈来。而且，它们有超多的观察功能，可以生成极清晰的图像，检测缺陷变得非常轻松可靠。

3、奥林巴斯MX63晶圆半导体显微镜挺不错的，这个晶圆半导体显微镜主要是在半导体制造领域使用，它是一种用于观察半导体芯片基本材料“晶圆”的显微镜。借助这种显微镜，可以检查晶圆的电路状态。

4、你是半导体行业的话，晶圆半导体显微镜应该很了解，可以对晶圆上的电路图案和颜色进行精准测量与分析。

5、这种显微镜常被用来研究半导体材料，这些材料构成了电子设备中的电路和芯片。你知道吗？这可不仅仅是“看看”那些微小的零件，而是为了检查它们的质量、结构和性能。

晶圆测试过程中的拉弧现象

拉弧现象一般是因为，两个被测电极距离太小，在电流电压值比较大的情况下，电流击穿空气，引起两个点针之间电流相通从而出现拉弧现象。

晶圆测试探针台上下移动左右针偏的原因如下：探针台机械问题：上下移动和左右移动探针台时，探针台出现偏移，是由探针台部件误差或者使用寿命、加工质量较差等原因导致，更换或维修探针台部件以解决该问题。

晶圆制造厂再把此多晶矽融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶矽晶棒，由于矽晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的矽原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。

测试过程中发现的有瑕疵的内核被抛弃，留下完好的准备进入下一步。 单个内核：内核级别。从晶圆上切割下来的单个内核，这里展示的是Core i7的核心。 封装：封装级别，20毫米/1英寸。

其中大部分过程使用人是看不见的。晶圆测试的机械精细度和合金技术复杂性大多很难在芯片设计，测试设计，甚至工程师在创建产品的测试策略和测试内容的过程中发现。但这并没有降低它的重要性。

晶圆是怎么测量的?

将晶圆放在测试设备里，并调整其位置。使用测试仪器，扫描晶圆表面覆盖区域，完成61点测量数据采集。检测采集的数据，根据不同的数据点，绘制出金属分布特征图。

wefer test是效率最高的测试，因为一个晶圆上常常有几百个到几千个甚至上万个芯片，而这所有芯片可以在测试平台上一次性检测。chip test是在晶圆经过切割、减薄工序，成为一片片独立的chip之后的检测。

晶圆生产出来后，在出晶圆厂之前，要经过一道电性测试，称为晶圆可接受度测试（WAT）。这个测试是测试在切割道（Scribe Line）上的测试键的电性能。

已知的电流流过两个外部的探针，而用两个内部的探针测量电压。

晶圆检测时探针卡的两种连接方式是什么

1、将探针台双探针的两根线缆与测试源表（如Keithley、安捷伦）连接，保证源表地线接地良好；在显微镜下，将两根探针分别分别接触二极管芯片的正负级；在测试源表中设置需要测试的参数，如扫描电压范围，进行测试即可。

2、第二个：探针机 探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。

3、每次探针扎针时都需要在良好的电接触与防止损坏晶圆和探针卡之间取得平衡。扎错了，它可能会损坏晶圆和定制的探针卡，并导致不良的良率以及现场故障。

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